业务的背景
某大规模半导制造厂客户处于长三角经济圈型城市,主要的的生产销售晶圆和IC芯片。在的生产销售期间中,晶圆切割器和磨光周期会产生广泛碾磨液废液,每日废气标准量约50吨。原因废液中有高浓硫酸浓度飘浮物、重金属化合物及生产填加剂,真接废气标准会对生活环境可能会导致频发破坏,客户人们非常建没靠谱处里场地设施。
废污水因素及来原
磨细液生活污水基本的来缘于晶圆鑫霖环保中的化学上机械制造抛光处理(CMP)工作,基本空气污染物质具有:
浮窗粉末物
:二钝化反应硅、钝化反应铝等精磨顆粒,颗粒直径在0.1-1μm,溶液浓度超过2000mg/L。
合金金属铁离子
:铜、铁、锌等,出于增加光泽垫有损坏及晶圆外表金屬层,铜化合物质量浓度约50mg/L。
有机物移除剂
:涉及到单单从表面催化活性液、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸性性材料
:pH值起伏大,常常在2-11范围内。
整理技艺工作流程
对废液基本特性,应用“预清理+生化学+进一步清理”組合技艺:
控制池
:均衡化水质检测储水量,放入耐酸碱调节器pH至普通。
混泥土放置
:加药PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),避开悬浮按钮物和电解质溶液,沉降后SS避开率>90%。
促使被氧化
:运用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)化学降解有机化学填加剂,COD除掉率达60%。
生物体操作
:MBR膜菌物反應器进两步可降解剩余时间有机肥料物,COD高于100mg/L低于。
铝离子对调
:专用型树酯活性炭吸附铜化合物,冒水铜分量<0.5mg/L。
砂滤+活性酶类炭过滤程序
:事关留水使水变,到达《把污水总合尾气排放基准》(GB8978-1996)6级基准。
结果英文实际效果
系统软件正常运作不稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。
造纸废水处理工艺处理率达40%,余量达到废气污染物,年变少废水处理工艺废气污染物1.7万吨。
操作成本费约15元/吨,远大于行业中平均水平。