某光电器件加工企业因晶圆清洁工作加工过程出现含氨生活污水,用水量200吨/天。生活污水底除化学需氧量外还含有氟化物和进样器天价属,处里分值大。当地人产生标准规定特殊要求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废渣营养成分及收入
晶圆洁净废水处理工艺(关键來源):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀程序生产废水:含进样器铜、镍等天价属,pH值振幅大
CMP研磨设备电镀废水:含硅科粒及氟化物
解决生产技术程序
所采用"化工沉定+膜转移+折点氯化"组成工艺技术:
预整理
:污泥脱水CaCl2除氟,调节pH在7.5-8.
反渗透装置软件系统
:清理0.01μm之内颗粒剂物
反融合浸提
:将氯离子浸提至1000mg/L这
折点氯化
:精确度调控氯加药系统量,将氟化物转为为离氮气
阴阳离子交流
:保护天价属达到
结果功能
氧化还原电位保持稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属纯度高出探测限
水工业废水处理率达75%
废水发生量减小40%