东莞某光电器件心片开发厂，晶圆加工制作环节中产生了含硅、氟的特定污水，结构设计加工整体规模1200吨/日。污水组成成分很复杂，内含nm级硅颗粒剂及氢佛酸，传统的加工的方式得以达到标准。 废液部分及來源 最主要环保问题物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 來源加工过程 ：晶圆刻蚀废污水处理（45%）、CMP无机化学厂家增加光泽废污水处理（40%）、设备洗水（15%） 治理 鑫霖环保流量 企业创新运用"耐腐蚀沉定+劳动防护膜提取"技木路径： 钙盐石雕文化沉淀 ：加药系统氯化钙清理氟阴阳离子（添加CaF2滤渣） 二沉池想法 ：包覆斜管沉淀池剂改变胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜挪用微细小粒 反渗透膜到系统软件 ：脱盐率>98%，的回收利用率75% 多效蒸发晶体 ：浓水段构建氟化物零废气 结果使用效果 氟化物密度：<8mg/L（高出国家的一层规定10mg/L） 硅水分含量：<5mg/L 水資源使用率：70%代替冷却后塔保湿 危废处理回收利用：挥发沉渣量较传统式艺减小60%